标签:EUV光源

基辛格,投身EUV光刻

前英特尔CEO帕特·基辛格在离开英特尔后,加入了EUV光源初创公司xLight,担任执行董事长。xLight致力于通过粒子加速器技术革新极紫外(EUV)光刻技术,以解决...

替代EUV光刻,新方案公布!

在全球半导体行业追求更高密度、更高性能的芯片制造的背景下,极紫外(EUV)光刻技术成为了关键。目前,这种技术依赖于极紫外光源,其产生过程复杂且成本高昂...