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揭秘先进制程生产自动化：第四代AMR的物流效率革命

在半导体晶圆厂中，自动化技术的快速发展推动了移动机器人（AMR）的广泛应用。从初代的导轨式机器人到第三代集群作业的AMR矩阵，这些技术的演进促进了从硬件...

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1个月前