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天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备，开启国产半导体高端检测设备新时代

苏州矽行半导体技术有限公司（矽行半导体）宣布，其面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证，标志着国产半导体高端检测设备实...

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4个月前