标签：高数值孔径

EUV光刻机，创下新纪录

ASML宣布其首台高数值孔径机器创造了新的芯片制造密度记录，超越了两个月前的记录。ASML的标准低数值孔径EUV机器可打印13.5nm的临界尺寸，而新的High NA EXE:...

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7个月前