标签:钌通孔

铜互连,尚能饭否?

随着铜在芯片制造中的有效性逐渐降低,芯片制造商开始关注新互连技术,以提升未来节点和先进封装的性能,并减少热量。1997年,铜互连技术取代了当时的钨通孔/...