标签:粒子加速器

替代EUV光刻,新方案公布!

在全球半导体行业追求更高密度、更高性能的芯片制造的背景下,极紫外(EUV)光刻技术成为了关键。目前,这种技术依赖于极紫外光源,其产生过程复杂且成本高昂...