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突破14nm工艺检测壁垒：天准科技TB2000明场纳米图形晶圆缺陷检测装备开启国产缺陷检测新纪元

苏州天准科技股份有限公司旗下矽行半导体公司研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000已正式通过厂内验证，并计划在SEMICON 2025展会天准展台正式发布。这...

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6天前