标签：极紫外光刻

替代EUV光刻，新方案公布！

在全球半导体行业追求更高密度、更高性能的芯片制造的背景下，极紫外（EUV）光刻技术成为了关键。目前，这种技术依赖于极紫外光源，其产生过程复杂且成本高昂...

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3周前