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对话纳米压印技术发明人周郁:用变革性的新技术突破光刻瓶颈!

纳米压印技术(Nanoimprint Lithography, NIL)自20世纪90年代中期问世以来,为微电子制造及纳米制造领域带来了革命性变革。这种技术通过机械压印而非传统光...