标签:单晶器件

TSV太贵了,制造3D芯片,新办法

随着电子元件三维(3D)集成需求的增长,硅通孔(TSV)技术成为连接3D格式单晶器件的唯一可行方法。然而,无需中间晶圆的单晶器件无缝连接仍然是一个挑战。本...