标签：光学设计

EUV光刻新方案，大幅降低成本！

本文提出了一种新型的极紫外（EUV）光刻技术，旨在降低现有EUV光刻设备的功耗和成本，同时提高生产效率。该技术采用简化的照明系统和双镜片投影物镜设计，相...

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5个月前