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EUV光刻，有变！

EUV（极紫外）光刻技术自提出以来，面临高成本、复杂光学系统和高精度光罩制造等多重挑战，但随着技术的成熟，EUV逐渐突破了制程限制，尤其在10nm及以下的制...

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8小时前