揭秘先进制程生产自动化：第四代AMR的物流效率革命

文章摘要

【关 键 词】 半导体、自动化、AMR、柔性作业、智能物流

在半导体晶圆厂中，自动化技术的快速发展推动了移动机器人（AMR）的广泛应用。从初代的导轨式机器人到第三代集群作业的AMR矩阵，这些技术的演进促进了从硬件性能优化到整厂智能化系统的转变。AMR因柔性、灵活、高效等特点，逐渐取代传统的天车系统，成为晶圆厂自动化物流的新趋势。

初代AMR沿着固定轨道移动，缺乏灵活性，而第二代通过激光导航技术实现了无轨自由移动，提高了作业效率。然而，这两代机器人在处理复杂任务时仍受限制，主要以单机作业为主。第三代AMR则通过集群协同作业，实现了从单机柔性到集群柔性的转变，显著提升了晶圆厂的物流效率。

第三代AMR的集群调度能力，使得百台级机器人能在晶圆厂内高效协作，形成一个智能化的物流系统。优艾智合等厂商通过软硬结合的系统实现了多机器人交互，推动了EAP和MCS等系统的有效对接，进一步提升了晶圆厂的智能化水平。

随着市场需求和技术的不断进步，第四代AMR的发展方向指向了群体智能和极致单品。在硬件层面，将追求多维精度控制融合和整机自由度融合控制等技术；在系统层面，强调全栈系统的强耦合，以实现智能工厂中各系统的紧密联动。

结论来看，AMR从简单的移动设备发展成为具备集群柔性高级系统，其角色在晶圆厂中将愈发关键。第四代AMR的发展将助力晶圆厂自动化迈向新篇章，为智能工厂的建设提供坚实基础。

原文和模型

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【原文作者】 半导体行业观察
【摘要模型】 glm-4
【摘要评分】 ★★★★★

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