文章摘要
在万物互联的时代背景下，传感器作为物联网、工业互联网、大数据与人工智能等前沿技术的核心元器件，正成为推动产业智能化升级的关键基石。微机电系统（MEMS）凭借其小体积、高稳定、高精度、低成本等优势，在传感器应用领域愈发重要。MEMS的探索起源于20世纪50年代，其生产制造是产业链的最关键环节。MEMS源于集成电路的工艺基础，线宽以90nm-0.35mm为主，虽然不像半导体先进制程达到28nm以下，但MEMS元器件结构相对复杂，除了延用集成电路的成熟工艺以外还需引入特殊工艺。MEMS传感器芯片本质上是在硅片上制造极微小化机械系统和集成电路的集合体，加工工艺具有明显的非标准化和定制化特征，制造的工艺水平基本上决定了MEMS产品的基准性能，并且对供应链体系支撑有较高的要求，从特定角度来说，MEMS工艺要求、MEMS定制化设备需求比集成电路要更高，因而MEMS晶圆制造决定了MEMS的产业化上限。
2025年10月22日至24日，第六届中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会将在苏州国际博览中心隆重举行。这场多年来紧紧围绕MEMS“制造”的专业展会，聚焦传感器前沿技术与产业发展，将再次汇聚全球顶尖专家与创新成果，为MEMS制造领域带来全新发展机遇，助力产业生态繁荣发展。该大会由中国唯一的MEMS行业权威组织——中国半导体行业协会MEMS分会主办，自2019年起已连续成功举办五届。大会延续高规格、强阵容、广影响的行业定位，在展览规模、产业链覆盖等方面实现了全面升级。
展区将吸引2万+来自MEMS产业的精准观众，一同探讨行业趋势、寻找合作机会、拓展商业网络。参展企业可以全方位呈现MEMS制造全产业链的科研成果和最新动态，与潜在客户面对面交流，一站式满足上下游客户需求，从而建立长期稳定的合作关系。观众可以深入了解MEMS制造领域行业动态、学习先进技术经验、寻找优质的合作伙伴。
本次大会设置的制造主题会场将完善上下游报告嘉宾资源，聚焦MEMS传感器全产业链生态，深度解析投资机遇、核心材料、关键设备、先进设计、精密制造、高端封测及系统集成等核心环节。同时，大会将打造“MEMS+”概念，设立具身感知专题论坛，聚焦智能传感器在工业与消费领域的创新应用，深入探讨行业领军企业对高性能传感技术的核心诉求，推动MEMS技术跨行业融合与规模化落地。此外，大会深度嵌入国际知名传感器企业和行业组织，邀请海外企业高层共同探讨MEMS产业国际合作新格局。
大会将表彰2024年中国MEMS产业发展的前十位企业，以龙头企业为引领，激发MEMS行业良性竞争和产业发展活力，推动中国MEMS产业在全球范围内实现弯道超车。第六届MEMS创新创业大赛将采用“行业赛、地区赛相结合”的方式，先后在苏州、西安、深圳、北京举办６场初赛，并将于10月21日在苏州举办总决赛，展示MEMS领域的创新活力和创业热情。
苏州工业园区已连续多年获评“中国MEMS产业第一园”，缘何苏州可以集聚几乎MEMS全产业链企业？作为MEMS设计/制造领域的年度盛会，组委会精心筹备了“MEMS+游学行”活动，带您走进MEMS创新企业总部，了解MEMS产业沃土，亲身体验科技的无限魅力！
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【原文作者】 半导体行业观察
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